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HD500 - Nouvel équipement de revêtement ionique composite de la série HD

L'HD500 repose sur la toute nouvelle plateforme technologique de revêtement composite de Huasheng, permettant un processus de fabrication composite intégrant la pulvérisation cathodique à haute ionisation et les procédés à arc. Les films ainsi obtenus présentent une plus grande polyvalence. Ils offrent notamment des avantages considérables pour le traitement de matériaux difficiles à usiner, tels que l'acier inoxydable et les alliages de titane. Il en résulte une augmentation significative de la durée de vie.

De plus, cette technologie offre un potentiel accru pour les futurs perfectionnements des procédés. Parallèlement, son excellente flexibilité lui permet de répondre aux exigences de la production de revêtements à petite échelle ainsi qu'à celles de la recherche et du développement de procédés.

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Caractéristiques techniques du HD500

Gravure latérale unique

√ Uniformité exceptionnelle de la gravure latérale

√ Excellente résistance au surplomb et entretien facile

Pulvérisation magnétronique composite HiPIMS

√ Doté de sources DC + HiPIMS MS, il assure des taux de dépôt élevés tout en répondant aux exigences énergétiques pour le dépôt de métaux réfractaires tels que Nb, BC, W, V, etc., et est capable de déposer presque tous les matériaux.

Source multi-arc optimisée pour le plasma

√ Doté de 3 groupes de 6 sources cibles multi-arcs circulaires, le mécanisme d'amorçage d'arc dissimulé est fiable et facile à entretenir.

√ Il permet de réaliser facilement le dépôt de couches minces multi-éléments et multi-couches.

√ La source multi-arcs plasma optimisée assure une surface de film mince plus lisse.

√ Le taux d'utilisation des matériaux cible est extrêmement élevé.

Plateformes technologiques de dépôt multiples

√ Réaliser plusieurs technologies de dépôt de couches minces sur la même plateforme, y compris DC MS + HiPIMS MS + placage ionique multi-arc, et peut mettre en œuvre des méthodes de revêtement simples, composites et mixtes dans le même lot.

Paramètre du produit

HD500

Nom	Paramètre
technologie de revêtement	Technologie de revêtement composite inédite
Gravure	Source d'ions latérale (filament chaud)
Sources multi-arcs (nombre)	6
cathodes du magnétron (nombre)	1
Dimensions de l'équipement (mm)	longueur 3400largeur 1600hauteur 2600
Volume de la chambre (m³)	0,7
Surface de revêtement effective (mm)	Ф410*400
Température de fonctionnement maximale (℃)	700
Capacité de chargement (nombre d'arbres)	5
Chargement de la lame (APMT1135)	6000 pièces
capacité de charge de la lame de tige (D4*50L)	1800 pièces
Poids de charge maximal (KG)	300
diamètre de l'arbre	F130
Temps de traitement	AlTiN : 6 à 8 h