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Quel est le principe de fonctionnement d'un équipement de revêtement sous vide ?
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A: Elle utilise la technologie de dépôt physique en phase vapeur (PVD) ou de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) pour vaporiser les matériaux cibles dans une chambre à vide et les déposer uniformément sur des substrats, formant des revêtements fonctionnels à l'échelle nanométrique.
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Quel entretien régulier l'équipement nécessite-t-il ?
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A : 1) Nettoyer les résidus de la chambre à vide toutes les 50 heures de fonctionnement ; 2) Vérifier mensuellement le niveau d’huile de la pompe mécanique et l’intégrité des joints ; 3) Calibrer trimestriellement les systèmes de contrôle de l’épaisseur du film. L’utilisation de consommables d’origine est recommandée pour des performances optimales.
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Quels matériaux peuvent être revêtus par cet équipement ?
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A : Compatible avec les métaux (Al/Ti), les céramiques (Si3N4), les polymères, etc. Dimensions maximales du substrat : Φ300 mm × 500 mm. Permet le revêtement de pièces de formes irrégulières.
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Quelle est la consommation énergétique de l'équipement ?
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A: Les modèles standard ont une puissance nominale de 15 kW et un mode d'économie d'énergie intelligent réduisant la consommation en veille de 40 %. Le coût de fonctionnement à pleine charge est d'environ 9 ¥/heure (sur la base d'un tarif industriel de 0,6 ¥/kWh).
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Comment résoudre les anomalies de processus ?
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A : 1) Comparer les courbes de processus des 10 derniers lots via l'IHM ; 2) Utiliser un détecteur de fuites de vide pour vérifier l'étanchéité de la chambre ; 3) Contacter le support technique pour un diagnostic à distance (disponibilité 24h/24 et 7j/7).
HD500
